 Die Regelung der Temperatur, der an eine Vakuumkammer und aus den Pumpleitungen gelieferten Gase, ist von wesentlicher Bedeutung, während die Industrie neue Prozesse in Einklang mit der Halbleitertechnologie Roadmap entwickelt. Plattformbasierende Werkzeuge sind darauf ausgelegt, den Durchsatz zu steigern, erhöhen aber auch die Anforderungen an das thermische Management, das in die Lieferung konsistenter Beschichtungs- und Ätzprozesse involviert ist. Erträge steigen und die Häufigkeit vorbeugender Wartung kann abnehmen, wenn gelieferte Gase und Abgase innerhalb der vorgeschriebenen Prozessparameter geregelt werden.
Watlows Gas- und Pumpenleitungsheizsysteme wurden entwickelt, um Flexibilität für das Design optimaler Heizsysteme zu liefern. Vakuumkammer- Rohrleitungssysteme können, auf Grund der variierenden thermischen Masse, beschränkter Räume und Layoutänderungen, in letzter Minute eine thermische Herausforderung darstellen. Das neue STRETCH-TO-LENGTH TM Heizsystem und EHG-Regler sind Standardlösungen für schwierig beheizbare Gasförderleitungen. Integriert als ein Komplettpaket verringern Watlow-Komponenten die Designzeit und Systemkosten. Lösungen mit schneller Förderung für Beruhigungsanwendungen sind möglich, da Watlow mehr als tausend Standardheizelementkonfigurationen in den Designunterlagen besitzt.
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