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| Thermische Managementlösungen für Beschichtungs- und Ätzvakuumkammern |
 Unkontrollierte thermische Gefälle in einer Vakuumkammer reduzieren substantiell Prozesswiederholbarkeit und Wafer-Ausbeute. Die raue Umgebung, einschließlich Chemikalien, Plasma, Vakuum und Temperatur, erhöht die Material- und Prozessverunreinigungen. Eine einzelne Lösung funktioniert nicht für alle Anwendungen auf Vakuumbasis. Watlow konstruiert Metall- und Keramikheiz- und Fühlerkomponenten, die mit den meisten Vakuumumgebungen kompatibel sind. Watlows neue Keramikheizelemente schließen auch AIN und AIO3 basierende Designs ein, die präzise Hochtemperatur-Ständerheizungslösungen für Brennstationen und in-situ Vakuumumgebungen bieten. Metallheizelemente können in die Wände und Klappen von Vakuumkammern eingebaut werden, um Kondensation zu verhindern. Baugruppen aus reinem Aluminium und Edelstahlbaugruppen für höhere Temperaturen sind ebenfalls ausgezeichnete Lösungen für viele CVD-, PVD- und Ätzanwendungen. Watlow ist darauf vorbereitet, die kompletten, schlüsselfertigen, thermischen Unterbaugruppen für Vakuumanwendungen zu liefern.
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